これも今年のＩＳＳＭに関する話です。 私はＡＭＤの論文 300mm Prime gaps that need to be addressed to boost productivity に興味を持ちました。これは１０月２２日のエントリーで紹介した論文「小ロット生産のAMHS運用と装置フロントエンド設計への影響…