「自壊する帝国」を読み終わりました。 以下は「自壊する帝国」の中でおもしろかった箇所のひとつです。 １９９１年５月、当時参議院議員だったアントニオ猪木氏がモスクワを訪れた時、著者の佐藤氏と猪木氏がいっしょになってロシア人たちをウオトカで酔い…

「般若心経」を読む (1981年) (講談社現代新書)作者: 紀野一義出版社/メーカー: 講談社発売日: 1981/02メディア: 新書 クリック: 1回この商品を含むブログ (3件) を見るこの本の裏書を見ると昭和５９年（１９８４年）発行になっています。社会に出ていろいろ…

「搬送時間ありＧ／Ｇ／１のサイクルタイム定理の意味」で述べた、搬送時間が一定の場合の定理について述べます。 この場合、「搬送時間ありＧ／Ｇ／１のサイクルタイム定理」で述べられた Ｍ１から搬送時間とロードポートを省いた、通常のＧ／Ｇ／１の待ち…

搬送時間ありＧ／Ｇ／１のサイクルタイム定理の意味をもう少し調べます。 以下の２つの場合には、搬送時間ありＧ／Ｇ／１のサイクルタイム定理は、もう少し単純な形に帰着します。 １）ＴＬが一定の場合 これについては「ＴＬが一定の場合のＧ／Ｇ／１のサイ…

おもしろいと思ったので、ここに記録 三上さんのブログへの美崎さんのコメント

以下のエントリを手直ししました。 搬送時間とロードポートを考慮したモデルに特有の振る舞い 「残念ながら、『搬送時間ありＧ／Ｇ／ｍの（つまり装置がｍ台の）サイクルタイム定理』は私にはまだ明らかになっていません。」のところに搬送時間ありＧ／Ｇ／…

自壊する帝国作者: 佐藤優出版社/メーカー: 新潮社発売日: 2006/05/30メディア: 単行本購入: 2人 クリック: 52回この商品を含むブログ (129件) を見るこの本を借りてきて読み始めました。とても面白いです。「自壊する帝国」というのはソヴィエトのことです…

「搬送時間ありＧ／Ｇ／１のサイクルタイム定理」に関連して、以下のエントリを手直ししました。 【定理１０ａ】 【定理１１ａ】 【定理１２ａ】 【定理１３ａ】 【定理１４ａ】 搬送時間ありＧ／Ｇ／１のサイクルタイム定理（再掲） 新しい記事はありません…

「搬送時間とロードポートを考慮したモデルに特有の振る舞い」で紹介した「搬送時間ありＧ／Ｇ／１のサイクルタイム定理」の内容を説明します。 搬送時間ありＧ／Ｇ／１のサイクルタイム定理 定理（搬送時間ありＧ／Ｇ／１のサイクルタイム）： 上図のような…

太平洋戦争 (下) (中公文庫)作者: 児島襄出版社/メーカー: 中央公論新社発売日: 1974/07/10メディア: 文庫この商品を含むブログ (5件) を見る太平洋戦争（上）と同じく読んでもなかなか私の頭に入りません。流れがつかめず、個々のエピソードばかりが記憶に…

「ロードポートネックの判定式（teとCETが変動しない場合）」での考察を、処理時間とキャリア交換時間が変動する一般的な場合に拡張します。 ロードポートネックは個々の装置に個別に起きる現象なので、ステーション内の任意の１台の装置に注目します。そし…

「ロードポートネック」では、ロードポートネックの存在について述べました。では、ロードポートネックが発生する条件はどんなものでしょうか？ 一般的には処理時間とキャリア交換時間は確率的に変動する変数ですが、その場合をいきなり考察すると大変なので…

通常、装置には複数のロードポートが備えつけてあります。これは、１つのロードポートで処理の終わったＦＯＵＰを未処理のＦＯＵＰと交換する間に別のロードポートにあるＦＯＵＰの処理を行うことによって、装置が空くのを防ぐためです。 下の図はロードポー…

以下のたわごとをお許し下さい。 ＊ ＊ アウグストゥスがローマの平和を確立した時代であっても、さまざまな悲惨な出来事はあっただろうし、一般の人々には不公平も理不尽なこともあっただろう。それにもかかわらず、やはり巨視的には平和は存在しており、私…

トラップがサイクルタイムに与える影響を調べたいと思うのですが、搬送時間ありのモデルを考察することは私にはまだ出来ていません。 そこで、ここでは搬送時間なしロードポートありのモデルを前提にして、トラップがサイクルタイムに与える影響を述べます。…

トラップの概念を説明する例として２台の装置からなるステーションを考えます。１台の装置は、３つのロードポートを持っているとします。この時、 上の図のロット２のように、あるロットがすでにある装置（装置１）のロードポート上にあるために、別の装置（…

卑弥呼誕生―『魏志』倭人伝の誤解からすべてが始まった (新書y)作者: 遠山美都男出版社/メーカー: 洋泉社発売日: 2001/11メディア: 新書この商品を含むブログ (6件) を見る私の好きな遠山美都男氏、の本ですが、この本の論旨には私はあまり納得できていませ…

上図のようにモデル化された、搬送時間とロードポートを考慮した待ち行列モデルの挙動は、下に示すような通常の待ち行列モデル とは違い、以下の２つの特徴的な挙動を示します。 トラップ ロードポートネック また、ロードポートネックがない場合のＧ／Ｇ／…

「２種類のディスパッチング」で述べたいずれかのディスパッチングでロットがロードポートに割り当てられると、搬送システムはそのロットを割り当てられたロードポートまで運びます。その時に時間がかかります。この時間をロード時間と呼ぶことにし、で表す…

「半導体ファブ内での利用率とサイクルタイムの関係」での議論を続けます。 の構成でのロットの動きを実現するためには、ある時点でロットをロードポートに割り付ける必要があります。これをディスパッチングと呼びます。ディスパッチングには 装置がロット…

一緒に処理・測定をし、搬送されるウェハの集合をロットといいます。３００ｍｍ半導体ファブではCarrier Integrityのルールがあるために、原則としてＦＯＵＰ内に入っているウェハはファブの最初の工程から最後まで同じグループでファブ内を進んでいきます。…

搬送システムはストッカとストッカの間、あるいはストッカと製造装置のロードポートの間でＦＯＵＰを運ぶシステムです。この[ファブ内物流の論理を求めて]では、搬送システムの具体的な仕組については考慮しません。

３００ｍｍ半導体ファブ内には適当な場所にＦＯＵＰを収納する自動保管棚が何台から何十台、設置されています。これをストッカと呼びます。 ストッカ間や、ストッカと装置間は搬送システムで結ばれています。よって、装置での処理や測定を待つＦＯＵＰはその…

製造装置は、処理や測定が完了したウェハを同じＦＯＵＰに戻します。このような運用ルールをCarrier Integrityあるいはユニカセットと呼んでいます）。

３００ｍｍ半導体ファブの製造装置にはロードポートを呼ばれるＦＯＵＰの置き台が通常２〜４個ついています。 上の図は、ロードポートが３つある装置の例です。このロードポートにのったＦＯＵＰのうち１つがフタを開けられ、その中のウェハが１枚ずつ取り出…

３００ｍｍ半導体ファブでは、ウェハは直接、そのまま装置から装置に運ばれるのではなく、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）という容器の中に複数枚入れられて密封された状態で運ばれます。

直径３００ｍｍのウェハでＬＳＩを生産しているファブを３００ｍｍ半導体ファブと呼びます。

ウェハを処理加工する装置をプロセス装置といい、ウェハのいろいろな特性（酸化膜や窒化膜などの膜厚、比抵抗、線幅）を計ったり、パターンの欠陥を検査する装置を測定装置といいます。プロセス装置と測定装置の両方を併せて製造装置といいます。[ファブ内物…

半導体ファブでは加工される対象（材料）はウェハです。ウェハは円形をしております。この表面にＬＳＩ（＝チップ）がいくつも形成されるわけです。 よって、ウェハの直径が大きいほうが一度に製造出来るＬＳＩの数が多くなりますので、より大きいウェハが望…

Factory Physicsを半導体ファブの挙動の解析に使用する際に、搬送時間とロードポートの存在が考慮されていません。これらを考慮することによってステーションの利用率とサイクルタイムの関係がどのように変わるかをこれから調べたいと思います。 通常の待ち…