今年は残念ながらISSM（半導体生産国際シンポジウム）には行けませんでした。出席した人から予稿集を回してもらって興味のありそうな論文を探しています。 この論文は、興味があったので内容を紹介します。（株）日立のナカタ氏（論文は英語なので漢字が分か…