小ロット生産のAMHS運用と装置フロントエンド設計への影響

ファブ内物流の論理を求めて ISSM

今年のＩＳＳＭで、この[ファブ内物流の論理を求めて]のエントリーに関係しそうな論文がいくつかありましたが、ＡＭＤの論文

  • The Effects of Small Lot Manufacturing on AMHS Operation and Equipment Front-End Design

は、私が「「ロットサイズ縮小によるサイクルタイム短縮の可能性について」再考」で述べた

半導体ファブにおけるサイクルタイムの画期的な短縮を目指すならば、

  • 搬送システム
  • セットアップ時間（段取り時間）
  • ロードポートネック

の３つについて画期的なソリューションを見つけていかなければならない

に近い内容だと私は思いました。もちろん、この論文の内容はそれには限定されないですが。ただ、私は自分の主張が的外れでなかったことにほっとしたのでした。
ここに摘要が掲載されていますので、ここにも引用します。

FD O FD-O-238
The Effects of Small Lot Manufacturing on AMHS Operation and Equipment Front-End Design
Olaf Zimmerhackl
AMD

This paper analyzes the effects of small lot manufacturing (SLM) on equipment operation and fab performance. It also discusses equipment front-end design challenges and describes options for carrier handling and AMHS operation to maximize the productivity benefits of small lot manufacturing. This paper focuses primarily on the material handling aspects of SLM and as such, does not discuss the influences of equipment Setup or First Wafer Delay which have been covered in other related publications

FD O FD-O-238
小ロット生産のAMHS運用と装置フロントエンド設計への影響
Olaf Zimmerhackl
ＡＭＤ

この論文は小ロット生産（SLM）の装置運用とファブ・パフォーマンスへの影響を分析する。これは装置フロントエンドの設計を議論し小ロット生産の生産性のメリットを最大にするための、キャリア・ハンドリングとAMHS運用の選択肢を記述する。この論文はSLMの材料ハンドリングに主に注目しており、そのため装置セットアップ、あるいはファースト・ウェハ・ディレイの影響を議論していない。それは他の関連発表でカバーされてきた。