Factory Physicsの法則（搬送バッチの構成）を前にご紹介をしましたが、これを半導体ファブ（＝工場）に適用することを考えて見ます。半導体ファブに用語を合わせると、ジョブはウェハ、搬送バッチはロット、ということになります。 ある装置がウェハを処理…