2007-07-01から1日間の記事一覧

装置と搬送システムの相互作用

「半導体ファブ内での物流構成」で示した このような構成(下図参照)が通常の待ち行列の結論にどのような影響を与えるか について考察を進めていきたいと思います。 まず、自動化されたファブにおけるFOUPを移動させる動作とそのタイミングについて確認した…