2007-09-20から1日間の記事一覧

ロードポートネック

通常、装置には複数のロードポートが備えつけてあります。これは、1つのロードポートで処理の終わったFOUPを未処理のFOUPと交換する間に別のロードポートにあるFOUPの処理を行うことによって、装置が空くのを防ぐためです。 下の図はロードポー…