通常、装置には複数のロードポートが備えつけてあります。これは、1つのロードポートで処理の終わったFOUPを未処理のFOUPと交換する間に別のロードポートにあるFOUPの処理を行うことによって、装置が空くのを防ぐためです。 下の図はロードポー…
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