製造装置

ウェハを処理加工する装置をプロセス装置といい、ウェハのいろいろな特性（酸化膜や窒化膜などの膜厚、比抵抗、線幅）を計ったり、パターンの欠陥を検査する装置を測定装置といいます。プロセス装置と測定装置の両方を併せて製造装置といいます。[ファブ内物流の論理の求めて]では略して単に装置と呼ぶ場合が多いです。搬送装置は製造装置ではありません。