2007-09-12 FOUP ファブ内物流の論理の求めて 300mm半導体ファブでは、ウェハは直接、そのまま装置から装置に運ばれるのではなく、FOUP(Front Opening Unified Pod)という容器の中に複数枚入れられて密封された状態で運ばれます。