ロードポート

３００ｍｍ半導体ファブの製造装置にはロードポートを呼ばれるＦＯＵＰの置き台が通常２〜４個ついています。

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上の図は、ロードポートが３つある装置の例です。このロードポートにのったＦＯＵＰのうち１つがフタを開けられ、その中のウェハが１枚ずつ取り出されて装置の中に取り込まれ、処理や測定が行われます（ＦＯＵＰごと装置内に取り込む装置もありますが、ここでは考慮からはずします）。１台の製造装置にある複数のロードポートは同等の機能を持ち、どのロードポートにＦＯＵＰがあっても同じようにフタを開け、中のウェハを取り出さすことが出来ます。また、装置は通常、ＦＯＵＰがロードポートに到着した順番に１つずつＦＯＵＰを選択して処理を始めます。