ストッカ

３００ｍｍ半導体ファブ内には適当な場所にＦＯＵＰを収納する自動保管棚が何台から何十台、設置されています。これをストッカと呼びます。
ストッカ間や、ストッカと装置間は搬送システムで結ばれています。よって、装置での処理や測定を待つＦＯＵＰはその装置のロードポートが空いていればそのロードポートで待ち、ロードポートが空いていなければストッカで、ロードポートが空くのを待ちます。また、製造装置での処理や測定が終わったＦＯＵＰは、次の装置（群）の近くのストッカへ搬送システムによって運ばれます。