2007-09-12 搬送システム ファブ内物流の論理の求めて 搬送システムはストッカとストッカの間、あるいはストッカと製造装置のロードポートの間でFOUPを運ぶシステムです。この[ファブ内物流の論理を求めて]では、搬送システムの具体的な仕組については考慮しません。