半導体ファブ内でのステーションの利用率とサイクルタイムの関係
Factory Physicsを半導体ファブの挙動の解析に使用する際に、搬送時間とロードポートの存在が考慮されていません。これらを考慮することによってステーションの利用率とサイクルタイムの関係がどのように変わるかをこれから調べたいと思います。
通常の待ち行列理論で考えるモデルは以下の図のようなものです。
これに対してストッカと搬送システムとロードポートを考慮したステーションのモデルは以下のようになります。なおCarrier Integrityのルールは守られているとします。
これからこのモデルについて利用率とサイクルタイムの関係を調査します。「搬送時間とロードポートを考慮したモデルに特有の振る舞い」に続きます。
