ロット

一緒に処理・測定をし、搬送されるウェハの集合をロットといいます。３００ｍｍ半導体ファブではCarrier Integrityのルールがあるために、原則としてＦＯＵＰ内に入っているウェハはファブの最初の工程から最後まで同じグループでファブ内を進んでいきます。よって３００ｍｍ半導体ファブではロット＝ＦＯＵＰ、と考えて差し支えありません。