トラップ
トラップの概念を説明する例として２台の装置からなるステーションを考えます。１台の装置は、３つのロードポートを持っているとします。この時、
上の図のロット２のように、あるロットがすでにある装置（装置１）のロードポート上にあるために、別の装置（装置２）が空いていても、その装置に行けなくなる現象を第１種トラップと呼ぶことにします。なお、図中のロット１、ロット２、という数字は、ロットがこのステーションに到着した順番を表しています。また深緑色のＦＯＵＰは処理中のロットを、黄緑色のＦＯＵＰは待ちロットを表しています。
また、
上の図のロット２のように、自分より後から到着したロット（ロット３）が先に処理されてしまう（ロット３はロット２よりあとに到着したのに、装置１がもたもたしているために、装置２に割り付けられたロット３のほうがロット２より先に処理を開始してしまう）現象を第２種トラップと呼ぶことにします。そして「第１種トラップ」と「第２種トラップ」の両方を併せてトラップと呼ぶことにします。
ロードポートを考慮しない通常の待ち行列
ではこのトラップは発生しません。トラップが発生するのは、ロットが装置に割り付けられてから、実際に装置で処理されるまでに時間が経過する、というところから来ています。
- よくスーパーのレジなどで、こちらのレジに並んでいる列のほうが人数が少ないから、といって並んでみたら、レジがもたもたしていて、別のレジに並んでいた人のほうが先にレジをすませていてしまった、というのが「第２種トラップ」です。レジに並んでいるうちに別のレジが空いてしまった、というのが「第１種トラップ」です。
- レジの場合は、空いているレジに並びなおせばよいのですが、自動化された半導体ファブの場合は、装置にそのロットをアンロードするように上位の自動化システム（ＭＥＳ）が命令し、次に搬送システムに対してそのロットを空いている装置に運搬させるように命令する必要があり、少々手間がかかります。
トラップのサイクルタイムに与える影響については「トラップのサイクルタイムへの影響」を参照下さい。
